氣體產(chǎn)品種類繁多，大致可分為普通工業(yè)和特殊兩種。一般工業(yè)氣體的生產(chǎn)銷售量很大，但對(duì)純度的要求不高。特種氣體生產(chǎn)銷售量雖小，但根據(jù)用途的不同，對(duì)不同特種氣體的純度或組成、有害雜質(zhì)允許的高含量、產(chǎn)品的包裝、儲(chǔ)存、運(yùn)輸?shù)榷加袊?yán)格的要求，屬于高科技、高附加值產(chǎn)品。

一般來(lái)說(shuō)，特殊氣體可分為三類：超高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)校正氣體和具有特定組成的混合氣體。氣體產(chǎn)品是現(xiàn)代工業(yè)的重要基礎(chǔ)原料，應(yīng)用范圍非常廣泛，冶金、鋼鐵、石油、化工、機(jī)械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)藥等部門均使用大量的常用體或特種。

高純氣體是氣體工業(yè)名詞，一般指利用現(xiàn)代凈化技術(shù)可以達(dá)到的任何等級(jí)的純度。

近年來(lái)，隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，產(chǎn)品的覆蓋面擴(kuò)大，使用量增加，新產(chǎn)品繼續(xù)上市，純度增加，市場(chǎng)需求擴(kuò)大，產(chǎn)值增長(zhǎng)率大大超過(guò)同期國(guó)民經(jīng)濟(jì)總量的增長(zhǎng)率，年增長(zhǎng)率達(dá)到12%。天然氣工業(yè)總產(chǎn)值在國(guó)民經(jīng)濟(jì)生產(chǎn)總值中所占比例不大，但對(duì)近年來(lái)迅速發(fā)展的微電子、航空航天、生物工程、新材料、精密冶金、環(huán)境科學(xué)等技術(shù)部門產(chǎn)生了重要影響。這是這些部門不可缺少的原材料天然氣由于各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng)，天然氣工業(yè)產(chǎn)品在品種、質(zhì)量、數(shù)量等方面取得了顯著的飛躍發(fā)展。

在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，為了保證朂終氣體工藝設(shè)備的氣體純度，要求供應(yīng)10-9高純氣體，使氣體中的雜質(zhì)含量(包括灰塵顆粒)控制在指定的數(shù)字內(nèi)，通常在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置或末端高精度氣體過(guò)濾器。

為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，發(fā)送系統(tǒng)除設(shè)置水含量或氧氣雜質(zhì)含量測(cè)定等必要的連續(xù)檢測(cè)儀器外，還應(yīng)設(shè)置定期采樣的檢測(cè)樣品入口，按規(guī)定時(shí)間采樣，分析高純氣體中的各種雜質(zhì)含量。